激發系統

XGT-9000 以其精心設計的激發系統保證**性能和靈活性，X射線發生器具有高達 50 kV 和 1000 μA 的高輸出。 此外可以通過我們多樣化的X射線頭提供多種尺寸（10μm - 1.2mm）的激發用初級 X 射線，其中就包括超高強度X射線頭（probe），以實現快速測量。

光學圖像

抓取清晰的圖像對于微區XRF至關重要，XGT-9000 提供高分辨率相機，可以獲取整個樣品及其細節顯微鏡水平的圖像。同時，多種照明模式保證圖像的清晰度，即便是透明或有較強反射的樣品。

樣品倉

XGT-9000 樣品倉可容納各種樣品，包括微型碎片、印刷電路板、硬幣、薄片、粉末、液體、晶圓，并根據需求提供各種樣品架，此外*多可以選擇 4 種測量環境來提高靈敏度。

檢測器

XGT 9000提供透射和熒光X射線雙探測器，透射X射線檢測器使用戶能夠檢測樣品的內部缺陷和異物，而熒光X射線檢測器（配置輕元素檢測器）檢測范圍可從C到Am。

軟件套件

功能強大的XGT 9000 軟件，包括**完整的基本測試功能，如單點測試、多點測試、線分析和Mapping測試等。除了基本測試功能外，還可以在軟件套件中添加**模塊，以提供更豐富的用戶體驗。

• 多層FPM模塊可以進行厚度測試，有無標樣都可以進行
• RoHS檢測模塊用于RoHS要求的有害元素篩查
• 隊列模塊自動進行多區域自動測試
• 顆粒搜尋模塊可以進行顆粒分析以及原位分析
• LabSpec Link模塊，將數據導入到LabSpec 6以進行多變量分析

局部真空/大氣環境/He吹掃（選配）*He吹掃條件對于兩個檢測器都檢測到C和F是必要的。